生产洁净车间主要有以下四个分区：

1.洁净区：布置生产设备的区域；

2.操作区；操作人员所在的区域；

3.交通区：输送材料、制品的区域；

4.维护区：对生产设备进行维护的区域。

隧道洁净室正是着眼于发掘这4个区的独立功能。所以在中央布置交通区。两侧布置洁净区和操作区，洁净区内侧为维护区。为此，常用以下两种平面布置形式：

1.直列式：在一个很长的车间内，不分隔成若干小间，而是由两条净化区域单元组成洁净隧道；

2.并列式：国外也有叫“海弯”式的，当工序较多时，或者每一大工序中又有许多小工序时。可以以用这种布置方法。这也是在一个大车间中不分隔，而由许多小的隧道式洁净室，组成一个相当于许多洁净隧道并列的方案。

这两种形式的特点是：

1.各区可分别按需要的洁净度设计，例如洁净区为1-10级，操作区为100级、交通区为l000级维护区为10000级。

2.对洁净区和操作区的变动很自由。

3.很容易形成从洁净区到操作区到交通区到维护区的洁净度从高到低的气流流动。
4.进出维护区可不经过操作区，而并列布置时，各列维修设备时彼此没有影响。
由于使用工厂加工好的构件，现场安装时间人为减少，标准化程度提高了。
隧道式洁净室的系统也应遵循简单、灵活以及节能的目的。