洁净度等级 |
尘粒最大允许数/pc.m3 |
换气次数/h |
气流流型 |
≥0.5μm |
≥5μm |
10 000 |
350 000 |
2 000 |
15~25 |
非单向流 |
温湿度:万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。洁净室湿度控制在45-65%。
配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。
噪声:
1、动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。 2、静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。
气流组织
1、万级洁净室主要采用的送风方式:
(1)局部孔板顶棚送风 ;
(2)带扩散板高效空气过滤器顶棚送风;
(3)上侧墙送风 等三种送风方式。
2、万级洁净室主要采用的回风方式:
(1)单侧墙下部布置回风口;
(2)当采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口。
3、送风口风速:
(1)孔板孔口3~5m/s;
(2)侧送风口:⑴贴附射流2~5 ;⑵非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5m/s, 对侧墙下部回凤1.0~1.5m/s。
4、回风口风速:
(1)洁净室回风口不大于2m/s;
(2)走廊内回风口不大于4m/s。
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